扩散炉

本产品可应用于半导体行业的高温氧化、金属热扩散等技术领域，具有温度控制精准、恒温区场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点，目前已经成功应用于光通信领域的光学波导芯片制作，可提供不同炉体尺寸、炉管材料和坩埚材料的定制任务。
温控范围：室温-1200℃
温度精度：±1℃
恒温区横向长度：10cm-100cm
恒温区径向长度：10cm-150cm
炉管材料：高纯石英、高纯刚玉等
坩埚材料：高纯石英、高纯刚玉等