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质子交换炉

本产品可应用于半导体行业的离子交换、离子扩散等技术领域,具有温度控制精准、恒温区场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点,目前已经成功应用于光通信领域的...
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产品详情

本产品可应用于半导体行业的离子交换、离子扩散等技术领域,具有温度控制精准、恒温区场范围大、可编程自动控制和超温自动断电保护等特点,目前已经成功应用于光通信领域的光学波导芯片制作,可提供不同炉体尺寸、炉管材料和坩埚材料的定制任务。


温控范围:室温-600℃


温度精度:±1℃


恒温区横向长度:10cm-100cm


恒温区径向长度:10cm-150cm


炉管材料:高纯石英、高纯刚玉等


坩埚材料:高纯石英、高纯刚玉等


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